等離子體化學(xué)氣相沉積(PCVD)在電力的激發(fā)輸入方式上有外部、內(nèi)部感應(yīng)耦合兩種方式；從生產(chǎn)過程作分類的話，可分為批量式的、連續(xù)式以及半連續(xù)式等幾類，本文分別做PCVD鍍膜的類別介紹：

1、內(nèi)部感應(yīng)耦合方式

（1）半連續(xù)式

這種方式類似于離子鍍膜、濺射鍍膜等利用等離子體的工藝，它在PCVD裝置內(nèi)部通入大氣時，器壁就會對水蒸氣等雜質(zhì)進行吸附，在等離子體作用之下，這些吸附雜質(zhì)會沾污、解吸等離子體，導(dǎo)致產(chǎn)生對膜層質(zhì)量較大的負面影響。所以PCVD真空設(shè)備更易受到污染，因此非常有必要使反應(yīng)器處于較穩(wěn)定高真空狀態(tài)。

（2）批量式

反應(yīng)器中以平行相對的方式布置尺寸為ø650mm的電極，用反應(yīng)器外面的加熱器加熱基材至350ºC的高溫，利用磁旋轉(zhuǎn)裝置進行旋轉(zhuǎn)?；呐c高頻電極間約有50mm的距離，在基板中心有反應(yīng)氣體向四周流動，由基材下面的四個排氣口排走廢氣。由50RHz的高頻電源激發(fā)等離子體，以500W的功率維持放電。

2、外部感應(yīng)耦合方式

（1）連續(xù)式

是由裝料室、卸料室、沉積室等三個部分構(gòu)成的PCVD連續(xù)性生產(chǎn)設(shè)備。其中，五個反應(yīng)器組成沉積室，采用外部感應(yīng)耦合方法進行等離子激發(fā)。自動化生產(chǎn)可通過對工藝過程的控制來實現(xiàn)。該類型設(shè)備的優(yōu)點是，反應(yīng)器有較集中的功率，使用Si氣體濃度較低就能獲得沉積速度較高，而且安全高。

（2）批量式

在石英管的外側(cè)繞上高頻線圈，接上供氣系統(tǒng)抽氣，系統(tǒng)就組成了反應(yīng)器。高頻線圈從外部把高頻電力輸給反應(yīng)器中的氣體，產(chǎn)生等離子體。

PCVD鍍膜裝置在制備非晶硅膜或SiN?膜中，薄膜的電學(xué)性能、內(nèi)應(yīng)力等性能很大程度上均取決于氫含量的多少，因此，在薄膜沉積過程當(dāng)中需要注意避免裝置被污染。

來源：振華真空設(shè)備